PS-6/PS-6N半导体特气检测探头
PS-6/PS-6N半导体特气检测探头是一款针对半导体制造、电子元器件生产及高精度工业环境中特殊气体监测需求而设计的专用检测设备。该产品通过实时监测环境中特定气体的浓度变化，为工艺安全与环境控制提供数据支持，适用于对气体泄漏、异常挥发等场景的快速响应。
在技术实现方面，该检测探头采用模块化设计理念，可适配多种气体传感器单元，能够根据用户需求灵活配置检测参数。其核心检测模块通过优化气体扩散路径与信号处理算法，提升了低浓度气体检测的灵敏度与数据稳定性，同时对温湿度波动、电磁干扰等复杂工况具备较强的环境适应性。设备内置自检与状态反馈功能，可实时监测探头运行状态，便于及时发现潜在异常。
PS-6/PS-6N系列产品在结构设计上充分考虑工业场景的实用性，防护外壳采用耐腐蚀材质并达到IP65防护等级，适用于洁净车间、特种气体间等严苛环境。紧凑型探头设计支持壁挂、管道嵌入等多种安装方式，配合标准信号输出接口，可与主流工业控制系统实现无缝对接。为满足不同场景的检测需求，产品提供PS-6（基础型）与PS-6N（增强型）两种版本，后者在响应速度与抗交叉干扰能力方面进行了针对性优化。
该检测设备主要应用于半导体晶圆制造中的特气柜监测、光伏电池片生产工艺气体控制、精密电子元件封装车间的环境安全保障等领域。设备维护周期可根据实际使用环境灵活调整，建议定期进行校准与功能验证以确保检测精度。厂家提供专业技术支持团队，可协助用户完成设备选型、系统集成及维护指导等全流程服务。
作为工业气体安全监测体系的重要组成部分，PS-6/PS-6N系列产品通过持续的技术迭代与工艺改进，致力于为高端制造业客户提供可靠的气体泄漏预防解决方案，助力企业构建更完善的安全生产环境。
PS-6/PS-6N半导体特气检测探头
的详细介绍
PS-6/PS-6N半导体特气检测探头
半导体特气检测探头PS-6/PS-6N
半导体特气检测探头PS-6/PS-6N特点：
¬ 泵吸式探头，可安装在各种场合。
¬ 卡式传感器，安装、更换极为方便。
¬ 更换不同的传感器可检测不同的气体。
¬ 不需要在设置现场进行标定
¬ 输出4～20mA的标准信号，可接入各种测量系统，亦可连接在已设置的 装置中。
规格：
| 型 号 |
PS-6 |
PS-6N |
| 检 测 原 理 |
定电位电解式、热线型半导体式、隔膜Galvanic电池式
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热分解、定电位电解式 |
| 采 样 方 式 |
泵吸引式（0.5L/min） |
| 采 样 管 道 |
特富龙外径6/内径4mm，配管距离20m以内，但吸附性强的气体最大配管距离为5m. |
| 输 出 信 号 |
4～20mA（包括负荷电阻、电缆电阻要300Ω以下）与电源的负端公用 |
| 故 障 输 出 |
流量低时,开路集电极OFF |
| 适 合 电 缆 |
CVVS 3芯或4芯(使用气流故障信号时) |
| 电 源 |
DC24V±10% |
| 消 耗 电 力 |
10W |
15W |
| 尺 寸 |
W73×H198×D140（mm）
（突起部分除外）
|
另有过滤部 |
| 重 量 |
约2.5kg |
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