SZT-4数字式四探针测试仪，是二量程的电阻测量仪器，配以手持式测试头或座式测试架，可用来测量片状，柱状，或块状，电阻率在0.01~200欧姆/厘范围内的半导体材料。(客户根据不同的要求可以选择不同的量程，最小可以测量0.0001Ω最大可以测量100000Ω,根据电流档定精度)通过对恒流源的调整，可以对某些测量结果进行修整，例如对普通硅材料的测试结果要乘以0.628的探险头修正系数，对硅材料薄层扩散和导电薄膜 “方块电阻“ 的修正系数为4.53等均可通过调正恒流电流加以处理。SZT－4数字式四探针测试仪，体形小巧，操作方便，量程适中，十分适於对重炼回料的分选。

      本仪器工作环境条件为：

        相对湿度：60%－80%

      　　温　　度：18℃―25℃

      工作室内应无强电场干扰，不与高频设备共用电源。

二，技术参数

1,测量范围

      电 阻 率        0.01-200Ω-cm

方块电阻        0.01-200Ω-口

电    阻        0.01-200.0

2,数字电压表 

      (1)量    程 :       200mV单一量程

      (2)误    差:      读数 ±0.2%±3字

(3)输入电阻 :      >10MΩ

3,恒 流 源

      (1)电流输出               0~10mA连续可调

      (2)量    程             1mA, 10mA

      (3)误     差             ±0.2%±3字,

4,手持式四探针测试头

(1)探  针  间  距::      1mm

  (2)探针机械游移率:      ±1.0%

  (3)探  针  材  料:      碳化钨,φ0.

(4)压力:  最大 2Kg

5,电源:

      220V±10%：50Hz

功耗：　　5W

6，外形尺寸;

7，使用方法：取出仪器平放於桌上，将三芯电源线接入仪器的电源插座中，并接通交流电压（220V），再将测试探头的插头插入相应的插座中，按下电源开关使仪器得电，仪器上的数字电压表就有读数显示，如果面板上的二个功能开关全部处於弹出状态，则二个开关旁边的“调整”指示灯和：“1mA”指示灯将被点亮，此时旋转电流调节旋钮电压表读数就会发生有规则的变化，这说明仪器已经可以正常工作。

下一步就可以跟据测试的须要对电流进行调整。电流调整应该将电流开关放在10mA的位置上。

8，电流调整 ：

（1）半导体（硅）材料的电阻率测试：

在10mA电流量程上将电流调到6.28mA,相当于在10mA电流情况下测得的结果,乘以探头修正系数0.628。

  由於恒流源的调整，1mA和10mA是同步的，在`10mA调准以后1mA量程同样包含有这个修正系数。

（2）半导体（硅）材料薄层扩散，玻璃或塑料的薄导电镀复层的方块电阻 测试:

在10mA电流量程上将电流调至4.53mA, 测得结果乘以10,就是方块电阻。

      （3）电阻测试：

电阻测试不能使用探头，必须换用带有鳄鱼夹子的四线插头

“电阻测试线”（选配件）。电流调到10mA,电压表的显示值

就是电阻值，不用修正。

(4)在做好测试前的准备工作之后，取下探头保护盖，将探头压在被测工件上，使四根探针和工件保持良好接触，

使用时的注意事项；

（1） 保护盖取下后一定要保存好，用毕仍要盖好，以防探针损坏。

（2） 仪器操作时，应备戴乾燥手套，操作场地，桌椅均应保持乾燥。

（3） 在被测材料外形尺寸允许的情况下，建议使用台式测试架（选购件），可使测试精度和稳定性都会有所提高。

（4） 对於被测工件为片状其厚度<3.49毫米时,还应对测试结果进行厚度修正,修正参数见参数表,附录`1A和附录1B 。

（5） 附录2，是对片状工件外形（园形，矩形）和测量位置的修正参数表。

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