日本COSMOS半导体材料气体检测仪XPS-7日本新宇宙
产品概述
日本COSMOS新宇宙XPS-7半导体材料气体检测仪是一款专为半导体制造及石油化工行业设计的便携式气体检测设备。该产品采用模块化设计，通过更换传感器单元即可实现多种气体的快速检测，适用于半导体工厂、石油化学工厂等使用有毒气体或半导体材料气体的场所进行泄漏检测和浓度测量。其轻量化设计（约1.3kg）和肩背式携带方式便于现场操作人员灵活使用。
核心功能特点
XPS-7采用定电位电解式检测原理，具备自动吸引式采样功能，可针对不同气体类型灵活更换传感器单元，无需进行复杂的气体检测器校正操作。设备配备蜂鸣器与报警灯双重警示系统，当气体浓度异常时会通过断续音和灯光闪烁提示用户。其响应时间在60秒内可达到60%的检测响应，连续工作时间超过12小时（使用碱性电池条件下）。该产品支持检测的气体包括氨气、硅烷、砷化氢、硒化氢等半导体工艺中常见的气体类型。
技术参数与使用便利性
设备外形尺寸为62mm×150mm×128mm（不含突出部分），工作温度范围覆盖0℃至40℃环境。标配包含肩背皮带、4节5号碱性电池及过滤纸等配件，用户可根据需要选配AC变压器或数据收集配套元件。采用盒式传感器单元设计，大幅减少了维护时间和操作复杂度，传感器更换过程无需专业工具即可完成。彩色显示屏清晰显示气体浓度变化趋势，支持数字与图形双模式切换。
应用场景说明
该检测仪主要应用于半导体制造过程中特殊气体的泄漏检查，包括晶圆加工、刻蚀工艺等环节的气体监测。同时也适用于石油化工行业中硫化氢、一氧化碳等有毒气体的现场检测。其便携特性特别适合工厂巡检、设备维护时的临时监测需求。通过简单的传感器单元更换，单台设备即可满足多场景下的不同气体检测需求，有效提升设备利用率。
日本COSMOS半导体材料气体检测仪XPS-7日本新宇宙
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