PS-6/PS-6N半导体特气检测探头
产品概述：
PS-6/PS-6N系列是针对半导体制造工艺中特种气体检测需求开发的高精度传感设备，适用于无尘车间、气体输送管路及工艺腔室等场景。该产品通过模块化设计实现对多种高风险气体的稳定监测，为半导体生产环境的安全性及工艺稳定性提供有效保障。
核心特点：
• 灵敏监测：采用宽量程传感技术，可覆盖ppb至ppm级浓度检测，满足半导体行业对痕量气体泄漏的监测需求。
• 快速响应：优化气路结构与信号处理算法，实现毫秒级异常响应速度，配合智能滤波功能减少环境干扰误报。
• 环境适应：主体结构采用316L不锈钢与全密封设计，在-20℃至+60℃温度范围及95%RH湿度条件下保持稳定运行。
• 维护便捷：模块化传感器支持带电插拔更换，配备自诊断功能实时反馈设备状态，显著降低运维成本。
应用领域：
广泛应用于半导体芯片制造中的CVD、蚀刻、离子注入等工艺环节，兼容氢气、硅烷、磷化氢、氟化氢等20余种高危气体的检测需求。同时可适配光伏电池片生产、LED外延片制备等精密电子制造场景。
系统兼容：
PS-6N型号内置标准数字通信接口，支持RS-485/MODBUS协议，可无缝接入工厂DCS/SCADA系统。双型号均提供4-20mA模拟量输出，兼容主流气体报警控制器。
产品价值：
通过精准的实时监测与数据追溯功能，帮助用户优化气体管理体系，降低生产中断风险，为半导体制造过程的品质控制与人员安全防护提供可靠的技术支持。
