DH-500JJC型 多靶磁控溅射镀膜机参数【上海双旭】
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功能薄膜特性测试仪是多用途综合测量装置,开展半导体材料的电阻性能的测试。由四探针测试仪和非晶硅薄膜电导率测量仪组成。四探针测试仪由主机、测试架等部分组成,测试结果由数字表头直接显示。主机主要由高灵敏度直流数字电压表和高稳定度恒流源组成。非晶硅薄膜电导率测量仪由样品室、温控系统、真空系统、高阻测量系统等部分组成。用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)、功能材料暗电导和光电导及温度的变化的特性。
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