DH2005型 直流辉光等离子体实验装置对比【上海双旭】
CS-50B
直流溅射等离子体实验装置采用同轴二极溅射结构，靶台和靶距离可调节，溅射基片可进行控温加热；溅射气压、溅射气源流量可调节，可研究不同气压、气源流量对薄膜溅射的影响；反应腔体采用石英玻璃管，可直观地观察到溅射现象；工作气体可调节更换，并可多路气体混合工作。可以完成光学薄膜材料的制备及其光学特性的测量、金属薄膜的制备等实验。
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