在线询价数字式0.5%精密微小气体质量流量计控制器 氢气氮气流量控
产品概述
数字式0.5%精密微小气体质量流量计控制器是一款采用热式测量原理的高精度流量控制设备，适用于氢气、氮气等多种气体的精确测量与控制。该产品通过毛细管传热温差量热法实现流量检测，不受温度压力波动影响，能够稳定输出与设定值一致的流量数据。设备采用本地高清晰液晶显示屏，可实时显示瞬时流量、累积流量等参数，操作界面直观便捷。
技术特点
该控制器具有0.5%的高测量精度和优异的重复性，响应时间短至1秒内，能够满足快速流量调节需求。产品采用不锈钢壳体材质，支持4-20mA、0-5V模拟信号输出及RS485数字通讯接口，便于系统集成。工作压力范围宽达0.05-0.3MPa，耐压最高可达3MPa，适用于不同工况环境。特殊设计的层流结构确保在微小流量范围内（最低可达5SCCM）仍保持稳定测量性能。
应用场景
该设备广泛应用于半导体制造、光伏新能源、医疗设备、实验室研究等领域，特别适合需要精确控制氢气、氮气等气体流量的工艺环节。在热处理保护气控制、化学气相沉积、气体配比混合等场景中表现出色，能够有效提升工艺稳定性和产品一致性。产品采用模块化设计，支持卡套连接方式，安装维护简便。
产品优势
相比传统流量控制设备，该产品具有更宽的量程比（可达100:1）和更好的线性度（±0.5%F.S），在长时间工作中保持稳定的控制性能。智能化的温度补偿算法确保在不同环境温度下都能提供准确的测量数据。产品提供多种量程规格可选，从0-5SCCM到0-100SLM满足不同流量控制需求，用户可根据实际应用选择合适型号。
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