CI白光干涉表面轮廓仪是一款基于光学干涉原理的高精度表面形貌测量设备，广泛应用于精密加工、光学元件、半导体材料及微纳结构等领域的三维形貌分析。该仪器通过非接触式测量方式，能够快速获取样品表面的微观轮廓信息，为工业生产和科研检测提供关键数据支持。
仪器采用白光垂直扫描干涉技术（VSI），结合高稳定性光学系统和精密位移控制模块，可在纳米级分辨率下实现亚埃级纵向测量精度。其宽视场成像功能支持毫米级区域的全场扫描，同时具备局部微区的高倍率精细观测能力，可适配不同尺寸和材质的样品测量需求。配备智能分析软件，可自动生成表面粗糙度、台阶高度、波纹度等二十余项特征参数，并提供三维形貌重构、二维截面分析等多种可视化呈现模式。
在功能拓展方面，设备支持多模块组合配置，可根据用户需求集成环境隔离系统、自动对焦模块或高温样品台等专用附件。人性化的操作界面设计降低了使用门槛，即使非专业人员也能快速完成测量流程。针对特殊样品表面，系统提供多种滤波算法和误差补偿方案，有效消除环境振动、杂散光等干扰因素对测量结果的影响。
该产品在精密光学元件检测、MEMS器件表征、超光滑表面加工等领域具有突出优势，其测量数据可追溯至国际公认计量标准，为产品质量控制、工艺优化及失效分析提供可靠依据。通过模块化设计实现功能灵活扩展，满足科研机构、检测实验室和工业生产线的多元化需求。
