STZ400H半导体四探针测试仪是面向材料电学性能分析领域研发的专业测量设备,适用于半导体晶圆、薄膜材料、导电涂层等多种场景的电阻率与方阻检测。该设备采用经典四探针法原理,通过优化探针排布结构与信号采集系统,显著提升微弱信号检测能力,可满足高阻值材料的精准测量需求。
仪器搭载智能化测量模块,支持0.1mΩ·cm至100MΩ·cm宽范围电阻率测量,最小分辨率达0.01%。自主研发的多级滤波技术有效抑制环境干扰,配合三点校准功能,确保不同量程下的测量一致性。测试平台采用模块化设计,适配2-8英寸晶圆片及各类异形样品,气动升降机构配合激光定位系统实现探针与样品的自动对位,避免人工操作带来的测量偏差。
STZ400H配置7英寸触摸屏操作界面,内置多组预设测试方案,用户可通过可视化界面快速完成参数设置。数据管理系统支持实时曲线显示与历史记录查询,配备USB/RS232双接口实现测量数据导出。设备采用分体式结构设计,主机与测试平台分离布局,有效降低机械振动对测量结果的影响。温控补偿功能可自动修正环境温度波动带来的数据偏差,保障实验室环境与生产现场不同工况下的测量稳定性。
该产品适用于半导体材料研发、光伏电池片生产、金属镀层质检等场景,特别在新型半导体材料开发过程中,可提供重复性优于0.5%的稳定测试数据。人性化的安全防护设计包含过载保护、误操作提示、紧急制动等多重防护机制,测试架绝缘强度满足高压测试需求。通过持续优化探针材料和接触算法,探针使用寿命较传统设计提升50%以上,有效降低设备维护成本。