在线询价数字式气体质量流量控制器 微小气体质量控制器 流量定量控
产品概述
数字式气体质量流量控制器是一种高精度气体流量测控设备,采用热式或毛细管传热原理,直接测量气体的质量流量,无需进行温度和压力补偿。该产品适用于微小流量控制场景,如半导体、光伏、化工、生物医药等领域,能够实现流量的快速响应和稳定调节。其核心优势包括高重复性、低零漂以及宽量程比,可满足不同气体介质的精确控制需求。
技术特点
该控制器采用全数字架构,支持0-5V、4-20mA或RS485通讯信号,便于集成到自动化系统中。传感器部分采用耐腐蚀材质(如316L不锈钢),适用于空气、氮气、氢气等常见气体,部分型号还可兼容腐蚀性介质。工作压差范围通常为0.05~0.3MPa,响应时间可控制在1秒以内,确保流量调节的实时性。此外,产品设计紧凑,安装时对直管段要求低,操作界面友好,支持本地数显或远程监控。
应用场景
广泛应用于科研实验、环境监测、材料制备等领域。例如,在半导体工艺中用于刻蚀气体流量控制,在燃料电池中调节氢氧比例,或在实验室中实现气体混合配比。产品支持定制化量程(如0~10SCCM至2000SLM),用户可根据实际需求选择合适规格。内置的闭环控制算法能有效抑制压力波动对流量的影响,确保长期稳定性。
使用与维护
建议在进气端加装过滤器以保持气体洁净,避免粉尘或液体进入控制器。安装时需确保工作压差在标定范围内,否则可能影响控制精度。产品提供零点自校功能,可通过简单操作消除微小漂移。日常维护仅需定期检查气路密封性,无需复杂校准。
服务支持
我们提供详细的技术参数说明和操作指南,用户可通过在线渠道获取实时报价与产品咨询。根据应用需求,可灵活选择模拟或数字信号输出型号,并支持非标定制服务,如特殊气体标定或耐高压设计。
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