DHCW-1型 循环冷却水机组对比【上海双旭】
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多功能微波等离子体实验装置由微波源、真空系统、供气系统、冷却系统、微波传输及微波谐振腔组成；由微波源产生频率为2.45GHz的微波，沿矩形波导管传输，在水冷谐振腔反应室内激励气体形成轴对称的等离子体球。可完成以下实验：微波等离子体化学气相沉积法制备多种功能薄膜材料、微波等离子体刻蚀加工实验、材料表面改性和清洗等；适合大学物理、材料、化学等领域的学生实验及教师科学研究。
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